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激光微纳制造有望成为变革潜力技术之一

发布时间:2019-08-15 20:26:46

  近期科技部高技术中心,根据国家软科学研究计划项目 世界高技术发展趋势跟踪研究 的任务要求,组织信息、材料、能源、先进制造、交通及基础研究等领域,来自86 、97 计划专家组,以及有关高校、研究院所和重点企业的总计2 0多名专家,采用文献计量和定性分析相结合的方法,通过对相关领域具有优势的国家与企业的有关科技计划、规划、发展动态和战略部署的梳理,以及对相关核心期刊、国际学术会议等的学术文献资料信息的统计分析,提出了各领域当前十个左右共计61个前沿热点。经过进一步凝练,他们提出了当前十大备变更潜质的前沿技术,分别为:碳基纳米材料、半导体纳米材料、突破衍射极限的光学光刻技术、微纳制造、光电子集成芯片技术、后摩尔时代三维互连集成及芯片设计、碳化硅电力电子器件技术、量子通信技术及与经典通信的融合、轨道角动量通信技术和泛在感知与全分布控制技术。

  激光微纳制造是微纳制造技术的重要部分。激光微纳制造是通过激光与材料相互作用,改变材料的物态和性质,实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端,而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造,其制造复杂结构的能力与品质远高于传统制造,由此产生了一批新技术(如光刻、近场纳米制造、干涉诱导加工、微焊接等)、一批新产品(如大规模集成电路、MEMS/NEMS等)、一批产品的高性能化(如航空发动机、燃气轮机、太阳能电池等)和相应的高新技术产业群。

  激光微纳制造涉及光学、物理、材料、化学、生物、信息、控制、机械、纳米科技等学科,必将推动制造及相关学科的深入发展。并为能源、航空、IC制造、国防、汽车、生物、医疗等领域实现跨越式发展提供重要的制造支撑。

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